ZONE PLATE ALIGNMENT MARKS,申请号US19760673126-传众专利搜索

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发明名称	ZONE PLATE ALIGNMENT MARKS
摘要
申请公布号	US4037969(A)	申请公布日期	1977.07.26
申请号	US19760673126	申请日期	1976.04.02
申请人	BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED	发明人	FELDMAN, MARTIN;WHITE, ALAN DAVID
分类号	G03F9/00;H01L23/544;(IPC1-7):G01B11/26	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
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