发明名称 FINE DIMENSION MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5289346(A) 申请公布日期 1977.07.26
申请号 JP19760004947 申请日期 1976.01.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHINDOU YASUHIKO;KURODA MASAO
分类号 G01B11/08;G01B11/06 主分类号 G01B11/08
代理机构 代理人
主权项
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