发明名称 INSPECTION TOOL
摘要
申请公布号 US4037971(A) 申请公布日期 1977.07.26
申请号 US19760670320 申请日期 1976.03.25
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BELLESON, JAMES GARMAN;CLARK, KENDALL
分类号 G01N21/956;G01R31/265;G01R31/308;G01R31/309;(IPC1-7):G02B27/17 主分类号 G01N21/956
代理机构 代理人
主权项
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