| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET AANBRENGEN VAN EEN BEKLEDING VOOR HALFGELEIDERSUBSTRATEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7700641(A) |
申请公布日期 |
1977.07.26 |
| 申请号 |
NL19770000641 |
申请日期 |
1977.01.21 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED TE NEW YORK. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/509;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/56;B01J17/32;C03C17/00;C23C11/00 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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