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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5298367(U) 申请公布日期 1977.07.25
申请号 JP19760005137U 申请日期 1976.01.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L23/14 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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