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发明名称 DEPOSITION HEATER
摘要
申请公布号 JPS5288835(A) 申请公布日期 1977.07.25
申请号 JP19760005208 申请日期 1976.01.20
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 WATANABE SHIYUUZOU;SAITOU MITSUAKI;ISHII MASAJI
分类号 H05B3/10;C23C14/26;H05B3/12;H05B3/14 主分类号 H05B3/10
代理机构 代理人
主权项
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