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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5287984(A) 申请公布日期 1977.07.22
申请号 JP19760004146 申请日期 1976.01.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 OKAJIMA YOSHIAKI;KOYAMA SUSUMU;YATSUNO KOUMEI;SUGAWARA SATOSHI
分类号 H01L21/308;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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