| 发明名称 |
APPAREIL DE DETECTION DES DEFAUTS D'UN MOTIF GEOMETRIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2336662(A1) |
申请公布日期 |
1977.07.22 |
| 申请号 |
FR19760038733 |
申请日期 |
1976.12.22 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
G01N21/88;G01B11/24;G01N21/956;G02B27/46;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24;G03F1/00;H01L21/70 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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