发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE2052714(B2) 申请公布日期 1977.07.21
申请号 DE19702052714 申请日期 1970.10.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/20;H01L21/74;H01L23/48;H01L27/00;(IPC1-7):01L21/74 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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