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发明名称
COUNTING METHOD FOR SEMICONDUCTOR PELLETS
摘要
申请公布号
JPS5287358(A)
申请公布日期
1977.07.21
申请号
JP19760004230
申请日期
1976.01.17
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
SATOU MOTOYUKI
分类号
H01L21/67;H01L21/66
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
主权项
地址
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