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发明名称
MONOLITHISCH INTEGRIERTE HALBLEITERSCHALTUNG
摘要
申请公布号
DE2515707(B2)
申请公布日期
1977.07.21
申请号
DE19752515707
申请日期
1975.04.10
申请人
发明人
分类号
H01L21/761;H01L21/331;H01L27/00;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L21/761
代理机构
代理人
主权项
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