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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5287365(A) 申请公布日期 1977.07.21
申请号 JP19760004228 申请日期 1976.01.17
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 WADA TOSHIO
分类号 H01L21/76;H01L21/302;H01L21/306;H01L27/04 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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