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发明名称 APPARECCHIATURA PER SEGNALARE IL COMPLETAMENTO DI UN OPERAZIONE DI ATTACCO CHIMICO NELLA FABBRICAZIO NE DI DISPOSITIVI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT1017115(B) 申请公布日期 1977.07.20
申请号 IT19740025102 申请日期 1974.07.12
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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