| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5286783(A) |
申请公布日期 |
1977.07.19 |
| 申请号 |
JP19760002809 |
申请日期 |
1976.01.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HASEGAWA NORIO;SUNAMI HIDEO;YANAGISAWA HIROSHI;DOUTA KIKUO;YAMAMOTO NAOKI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
