发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5286777(A) 申请公布日期 1977.07.19
申请号 JP19760003402 申请日期 1976.01.14
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KAWATANI KENJI;YOSHIDA SHIGEKI;NAKADA YASUO
分类号 H01L29/78;H01L21/3205;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/41 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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