| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN GEINTEGREERDE HALFGELEIDERSCHAKELING, ALSMEDE GEINTEGREERDE HALFGELEIDERSCHAKELING, VERVAARDIGD MET DEZE WERKWIJZE. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL154062(B) |
申请公布日期 |
1977.07.15 |
| 申请号 |
NL19670000219 |
申请日期 |
1967.01.06 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION, ARMONK, NEW YORK, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23F1/02;H01L21/00;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/94;H01L21/76 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
