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发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS5285033(A) 申请公布日期 1977.07.15
申请号 JP19760147905 申请日期 1976.12.10
申请人 IBM 发明人 RUBOMAIA TEII ROMANKIYUU
分类号 H05K3/14;C23C14/04;G03F7/26;H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205 主分类号 H05K3/14
代理机构 代理人
主权项
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