发明名称 |
INSPECTION METHOD OF MEMORY DEVICE |
摘要 |
PURPOSE:To obtain a memory device inspeciting method of which testing time is shorten without sarifice of test precision. |
申请公布号 |
JPS5285430(A) |
申请公布日期 |
1977.07.15 |
申请号 |
JP19760001559 |
申请日期 |
1976.01.09 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MOTOKI NAOTAKE;KOYAMA SHINICHIROU |
分类号 |
G11C11/413;G06F11/22;G11C7/24;G11C29/10;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G11C11/413 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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