发明名称 INSPECTION METHOD OF MEMORY DEVICE
摘要 PURPOSE:To obtain a memory device inspeciting method of which testing time is shorten without sarifice of test precision.
申请公布号 JPS5285430(A) 申请公布日期 1977.07.15
申请号 JP19760001559 申请日期 1976.01.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 MOTOKI NAOTAKE;KOYAMA SHINICHIROU
分类号 G11C11/413;G06F11/22;G11C7/24;G11C29/10;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G11C11/413
代理机构 代理人
主权项
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