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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER HALBLEITERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE1489193(B2) 申请公布日期 1977.07.14
申请号 DE1964N025972 申请日期 1964.12.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L21/8222;H01L23/522;H01L27/06;H01L29/73;(IPC1-7):01L21/205;01L29/72;01L27/00 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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