发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5284984(A) 申请公布日期 1977.07.14
申请号 JP19760000792 申请日期 1976.01.07
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATOU TADANOBU
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/082;H01L29/08;H01L29/73 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
地址