| 发明名称 |
FIXING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATES AND SUPPORTING PALTES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5284965(A) |
申请公布日期 |
1977.07.14 |
| 申请号 |
JP19760139509 |
申请日期 |
1976.11.22 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SAKURAI TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/52;H01L21/58;H01L29/74 |
主分类号 |
H01L21/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
