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发明名称 BEDAMPFUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2651976(A1) 申请公布日期 1977.07.14
申请号 DE19762651976 申请日期 1976.11.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GILBERT CHRISTENSEN,RICHARD
分类号 C23C14/50;H01L21/285;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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