| 发明名称 |
PRODUCTION OF INTEGRATED CIRCUIT OPERATED AT EXTRA LOW TEMPERATURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5283184(A) |
申请公布日期 |
1977.07.11 |
| 申请号 |
JP19750158502 |
申请日期 |
1975.12.31 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SASAKI NOBUO;IWAI TAKASHI;TOUGEI YOSHIIKU |
| 分类号 |
H01L27/18;H01L39/22;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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