发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5283065(A) 申请公布日期 1977.07.11
申请号 JP19750159225 申请日期 1975.12.29
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 YAMADA AYAO
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/306 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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