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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5283065(A)
申请公布日期
1977.07.11
申请号
JP19750159225
申请日期
1975.12.29
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
YAMADA AYAO
分类号
H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/306
主分类号
H01L21/3213
代理机构
代理人
主权项
地址
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