发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5283071(A) 申请公布日期 1977.07.11
申请号 JP19750159294 申请日期 1975.12.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUNINOBU SHIGEROU;ISHIHARA TAKESHI
分类号 H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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