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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5283175(A) 申请公布日期 1977.07.11
申请号 JP19750158449 申请日期 1975.12.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKATSUKA TSUTOMU
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/74;H01L29/70 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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