| 发明名称 |
APPARATUS FOR SUPERSONIC WIRE BONDING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5283168(A) |
申请公布日期 |
1977.07.11 |
| 申请号 |
JP19750158494 |
申请日期 |
1975.12.31 |
| 申请人 |
SHINKAWA SEISAKUSHO KK |
发明人 |
YAMAZAKI NOBUHITO;SUGIURA KAZUO;TORIUMI KIYOSHI;HASEGAWA TAKESHI |
| 分类号 |
B23K20/00;H01L21/60;H01L21/607 |
主分类号 |
B23K20/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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