发明名称 VERFAHREN ZUM EINDIFFUNDIEREN EINES FREMDSTOFFS IN EINEN HALBLEITERKOERPER
摘要
申请公布号 DE2657415(A1) 申请公布日期 1977.07.07
申请号 DE19762657415 申请日期 1976.12.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP. 发明人 KANBARA,GINJIRO;KOIKE,SUSUMU;MATSUDA,TOSHIO
分类号 H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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