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发明名称 PRETREATMENT OF SILICON SUBSTRATE FOR EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5279870(A) 申请公布日期 1977.07.05
申请号 JP19750158892 申请日期 1975.12.26
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SHIRAKI HIROMITSU
分类号 H01L21/205;H01L21/20;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/322 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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