发明名称 FORMING METHOD FOR ELECTRODES OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5279771(A) 申请公布日期 1977.07.05
申请号 JP19750156614 申请日期 1975.12.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HATSUTORI TSUKASA;ICHIKAWA MICHIO;TETSUYA TOSHIO
分类号 H01L21/285;H01L21/28 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
地址