DEVICE FOR POSITIONING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19750156616-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE FOR POSITIONING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPS5279780(A)	申请公布日期	1977.07.05
申请号	JP19750156616	申请日期	1975.12.26
申请人	TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO	发明人	TAIRA YOSHIMI
分类号	H01L21/68;H01L21/60	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
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