发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5279662(A) 申请公布日期 1977.07.04
申请号 JP19750154767 申请日期 1975.12.26
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 WASHIMI MASAHIKO
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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