| 发明名称 |
VACUUM EVAPORATION DEPOSITION OF GROUP III-A METAL NITRIDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3551312(A) |
申请公布日期 |
1970.12.29 |
| 申请号 |
USD3551312 |
申请日期 |
1968.05.20 |
| 申请人 |
BELL TELEPHONE LAB. INC. |
发明人 |
DAWON KAHNG;BERNARD B. KOSICKI |
| 分类号 |
C23C14/00;(IPC1-7):C23C11/14 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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