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发明名称 COMPOSITION DE POLISSAGE DE SUBSTRATS NOTAMMENT SEMI-CONDUCTEURS
摘要
申请公布号 FR2333847(A1) 申请公布日期 1977.07.01
申请号 FR19760031440 申请日期 1976.10.11
申请人 IBM 发明人 JAGTAR S. BASI
分类号 B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C09K13/02;H01L21/30 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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