发明名称 PROCEDE PERMETTANT L'AMELIORATION DE LA RESISTANCE AU CLAQUAGE DIELECTRIQUE D'UN DISPOSITIF MICROELECTRIQUE MUNI D'UNE COUCHE ISOLANTE
摘要
申请公布号 FR2334278(A7) 申请公布日期 1977.07.01
申请号 FR19760003920 申请日期 1976.02.06
申请人 IBM 发明人 JOHN E. BAGLIN, KING NING TU ET THOMAS H. DISTEFANO;TU KING NING;DISTEFANO THOMAS H
分类号 H01L21/265;C03C23/00;H01L21/28;H01L21/3115;H01L21/316;H01L29/51;(IPC1-7):H01B19/04;H01L21/26;H05K3/22 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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