| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MONOLITHISCH INTEGRIERTEN SCHALTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2557911(A1) |
申请公布日期 |
1977.06.30 |
| 申请号 |
DE19752557911 |
申请日期 |
1975.12.22 |
| 申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
HERRMANN,HANS,DIPL.-ING. |
| 分类号 |
H01L21/8226;H01L27/02;(IPC1-7):H01L21/72 |
主分类号 |
H01L21/8226 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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