发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTIVE DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5277666(A) |
申请公布日期 |
1977.06.30 |
申请号 |
JP19750155398 |
申请日期 |
1975.12.24 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
HATAISHI OSAMU;KADOMA YOSHINOBU |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/331;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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