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发明名称
NITRIERANLAGE
摘要
申请公布号
DE2657077(A1)
申请公布日期
1977.06.30
申请号
DE19762657077
申请日期
1976.12.16
申请人
KAWASAKI JUKOGYO K.K.
发明人
TANAKA,AKIO;EDAMURA,MIZUO;FURUITSU,SATOSHI;KUNISE,SATORU
分类号
C23C8/36;H01J37/18;H01J37/32;(IPC1-7):C23C11/14;C23C15/00;B23P1/20
主分类号
C23C8/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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