发明名称 NITRIERANLAGE
摘要
申请公布号 DE2657077(A1) 申请公布日期 1977.06.30
申请号 DE19762657077 申请日期 1976.12.16
申请人 KAWASAKI JUKOGYO K.K. 发明人 TANAKA,AKIO;EDAMURA,MIZUO;FURUITSU,SATOSHI;KUNISE,SATORU
分类号 C23C8/36;H01J37/18;H01J37/32;(IPC1-7):C23C11/14;C23C15/00;B23P1/20 主分类号 C23C8/36
代理机构 代理人
主权项
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