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发明名称 PATTERN EXPOSURE USING A POLYCHROMATIC LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 US4032341(A) 申请公布日期 1977.06.28
申请号 US19750629561 申请日期 1975.11.06
申请人 MOMOSE, KATSUMI;OKUTSU, KAZUHISA 发明人 MOMOSE, KATSUMI;OKUTSU, KAZUHISA
分类号 G03B15/00;G03C5/04;G03F7/20;(IPC1-7):G03C5/04;G03C5/00 主分类号 G03B15/00
代理机构 代理人
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