发明名称
摘要
申请公布号 JPS5285370(U) 申请公布日期 1977.06.25
申请号 JP19750173404U 申请日期 1975.12.20
申请人 发明人
分类号 C30B25/12;H01L21/205;H01L21/365;(IPC1-7):H01L21/205;B01J17/28 主分类号 C30B25/12
代理机构 代理人
主权项
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