发明名称 DOPING SEMICONDUCTORS WITH ELEMENTAL DOPANT IMPURITY
摘要
申请公布号 US3576685(A) 申请公布日期 1971.04.27
申请号 USD3576685 申请日期 1968.03.15
申请人 INTERNATIONAL TELEPHONE AND TELEGRAPH CORP. 发明人 RICHARD C.G. SWANN;THOMAS P. CAUGE
分类号 C23C16/50;C23C16/34;C23F1/02;H01L21/00;H01L21/225;H01L23/29;(IPC1-7):H01L7/36;H01L7/54 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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