发明名称
摘要
申请公布号 JPS5283097(U) 申请公布日期 1977.06.21
申请号 JP19750170643U 申请日期 1975.12.19
申请人 发明人
分类号 B25H1/20;B01L1/02;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):B25H1/20 主分类号 B25H1/20
代理机构 代理人
主权项
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