| 发明名称 |
METHOD OF CHANGING BEAM DIAMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5274198(A) |
申请公布日期 |
1977.06.21 |
| 申请号 |
JP19760136450 |
申请日期 |
1976.11.15 |
| 申请人 |
IBM |
发明人 |
UEN CHIYAN KO;ERITSUKU SAWATSUKII |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/12;H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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