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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 <p>PURPOSE:To prevent the deterioration in optical and electrical characteristics induced by the heat treatment of a group III-V semiconductor substrate.</p>
申请公布号 JPS5273673(A) 申请公布日期 1977.06.20
申请号 JP19750149896 申请日期 1975.12.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OKABAYASHI HIDEKAZU
分类号 H01L21/265;H01L33/30 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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