发明名称 DISLOCATION DETECTING METHOD FOR FINE OBJECTS
摘要
申请公布号 JPS5273058(A) 申请公布日期 1977.06.18
申请号 JP19750149270 申请日期 1975.12.15
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MURATA NOBORU
分类号 G01D5/26;G01B7/00;G01B11/00;G01B11/02;G01D5/244;G01D5/245;G01D5/30 主分类号 G01D5/26
代理机构 代理人
主权项
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