| 发明名称 |
PRODUCING EQUIPMENT OF SEMICODUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5272574(A) |
申请公布日期 |
1977.06.17 |
| 申请号 |
JP19750148609 |
申请日期 |
1975.12.13 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
NAGASAWA YUTAKA;FUKAYA TATSUO |
| 分类号 |
H01L21/56;H01L23/08;H01L23/12;H01L23/48;H01L33/56;H01L33/58;H01L33/62 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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