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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5272163(A) 申请公布日期 1977.06.16
申请号 JP19750148087 申请日期 1975.12.12
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 MATSUSHITA YOSHIAKI;TAKASU SHINICHIROU
分类号 H01L21/225;H01L21/265 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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