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发明名称 VERFAHREN ZUM BEHANDELN EINES AUSGEWAEHLTEN OBERFLAECHENBEREICHES EINES HALBLEITERELEMENTES
摘要
申请公布号 DE2655803(A1) 申请公布日期 1977.06.16
申请号 DE19762655803 申请日期 1976.12.09
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 JOHN YERMAN,ALEXANDER
分类号 H01L23/29;H01L21/306;H01L21/312;H01L21/56;H01L23/31;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L23/29
代理机构 代理人
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