发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG DEFINIERTER BOESCHUNGSWINKEL BEI EINER AETZKANTE
摘要
申请公布号 DE2554638(A1) 申请公布日期 1977.06.16
申请号 DE19752554638 申请日期 1975.12.04
申请人 SIEMENS AG 发明人 BELL,GUIDO,DR.RER.NAT.;HOEPFNER,JOACHIM,ING.
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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