发明名称 |
PRODUCTUION OF MOS TYPE TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5272184(A) |
申请公布日期 |
1977.06.16 |
申请号 |
JP19750148708 |
申请日期 |
1975.12.12 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KAWASAKI KIYOHIRO;ISHIHARA TAKESHI |
分类号 |
H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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